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M20是一個小外型SO-8封裝的不帶溫度補償壓力傳感器,該傳感器使用SMI公司經過優化的硅微結構的SM5108晶圓,并能為如此小的壓力傳感器提供比較高的精確度。這種優越性能通過細微電阻安裝和微機械配置以及先進的MEMS加工技術而得。
這種傳感器是為大批量使用而價格又成為關鍵因素的客戶而設計,如胎壓計或者是輪胎氣壓監測系統。M20為絕壓類型的壓力傳感器,滿量程范圍為15psi、30psi和100psi,M20是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷電路板的制造商而設計。
M20可以選用帶端口的配置或者帶孔配置,讓進氣通過端口上方或者壓力源的正向定位用于感應一般環境壓力或者與O形的密封圈一起使用。該端口方向已選定以最小化因惡劣環境中附加的長期依賴而造成的壓力脈沖直接沖擊壓力晶圓正面的幾率。該器件對帶有凝膠的作為標準,大量訂購該器件并需要最大化穩定性的可以不帶凝膠,比如在氣壓站、氣象站的傳感應用。
特點
| 應用
|
性能參數
所有參數在室溫25℃,5V直流恒壓源供電的條件下測量而得,除非另外規定。
最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 | |
激勵電壓源 DC | 0 | 5.0 | 10 | V |
激勵電流源 DC | 0 | 1.0 | 1.6 | mA |
滿量程輸出 PSI (kPa) | ||||
15(103) | 95 | 127 | 160 | mv |
30(207) | 65 | 100 | 135 | mv |
100(689) | 65 | 100 | 135 | mv |
零點輸出 | -35 | 0 | 35 | mV |
滿量程溫度系數 | -0.24 | -0.19 | -0.155 | %FS/℃ |
零點溫度系數 | -0.07 | -0.01 | +0.07 | %FS/℃ |
電阻溫度系數 | +0.24 | +0.275 | +0.33 | %RB/℃ |
壓力線性度(非線性誤差) | -0.20 | -0.07 | +0.20 | %FS |
橋臂阻抗 | 4 | 5 | 6 | kΩ |
輸入電容 | <2 | pF | ||
耐壓 | 3ⅹ | Rated FS | ||
爆破壓力 | 5ⅹ | Rated FS | ||
工作溫度 | -40 | +125 | ℃ | |
存儲溫度 | -40 | +150 | ℃ |
注意:
1、電橋可以被正電壓或者負電壓激勵;正輸出適用在正電壓激勵正壓力加載在晶圓上
2、在5V恒定電壓激勵下測量
3、測量從0到70℃
4、最佳直線擬合
電氣連接
1 | NC | 8 | +Vexc |
2 | +Sig | 7 | NC |
3 | NC | 6 | -Sig |
4 | GND | 5 | NC |
電路
內部
選型參考:M20C-030-A-P-T
030:量程 A:傳感器類型(A絕壓 G表壓 D差壓)
P:外形結構(P-帶管結構 H-帶孔結構) T:運輸方式(T-帶卷裝 S-IC管裝)
外形結構圖 單位:mm